微型动态压力传感器

 

产品简介:

微型压力传感器是专门为流体力学实验要求非常小的安装尺寸而设计的，它利用硅–硅键合MEMS 微机械加工技术使得集成硅膜片有效尺寸小，固有响应频率高，弹性力学特性优良，稳定可靠，对流场影响小，精度高于压电动态压力传感器，成为动压测试中压电压力传感器的换代产品，各国军标在爆轰动态、空气动力学测量标准中都推荐首选本类压力传感器；可生产探针形、扁平薄饼形（1.5-4mm）；提供定制服务。

产品用途:

军事工程、发动机进气道、化爆试验、风洞、材料、流体力学、声学、土木工程学、岩土力学、
创伤医学、石油勘采与试井、液压动力机械试验、缩模实验等科学试验与现代化仪器仪表中。

性能指标:

被测介质	对硅、不锈钢、环氧树脂胶不腐蚀的气体和液体
压力类型	绝对压力、密封参考压力、通气表压力
量程	-100kPa ～ 0 ～ 10kPa ～ 1MPa ～ 10MPa…100MPa 之间任意可选
供电电源	0.5-2.0mA 或 5-12VDC
输出信号	100mV （典型值）
变送器输出	供电： 24VDC （ ±15VDC ），输出： 0-5VDC 、 4-20mA 可选
非线性	0.1% FS 、 0.2% FS 、 0.5% FS
重复性	0.05%FS
综合精度	±0.2%FS 、 0.5%FS
长期稳定性	0.2%FS/ 年
工作温度	-40 ～ 125℃ （高温型加装水冷式结构 , 耐高温 500℃ ）
响应频率	5kHz…50kHz…500kHz
输入阻抗	5kΩ
绝缘电阻	＞ 500 MΩ/100VDC
安全过载压力	200%FS （ 2 倍满量程）
破坏压力	500%FS （ 5 倍满量程）
连接方式	M3 、 M4 、 M5 、 M6 、 M10 或指定
接液材料	硅、不锈钢、氟橡胶
相对湿度	0 ～ 95% RH
外壳防护等级	IP65
出线方式	航插、 直接密封引线

选型信息:

型号：NZ-S111A…
微型传感器，平膜片背面受压结构，压力响应速度更快，固有频率500kHz，不影响流场；螺纹固定密封压力，测量最高压力10MPa，可用于水，气体等的测量。

 

 

型号：NZ-S107A…
微型微压传感器，岛膜结构，采用膜片内置方式，尺寸更小，有效保护膜片在运输和安装过程中的人为损坏，压力响应速度快，不影响流场；螺纹固定密封压力，测量最高3.5MPa 的压力。

 

 

型号：NZ-S114A…
微型高压传感器，MEMS封装，压力响应速度快,固有频率500kHz；螺纹固定密封压力,可用于最高60MPa的液体、气体压力动静态测量。

 

 

型号：NZ-S103；NZ-S206A…
超微型传感器，硅硅键合技术，MEMS 封装，压力响应速度快，固有频率200kHz；探针置入式安装，主要为气道、风道测量，创伤医学、空气动力学设计。

 

 

薄饼形压力传感器 型号请见下图：
超薄型设计，硅硅键合技术，MEMS 封装，压力响应速度快，固有频率200kHz；粘贴式式安装，主要为气道、风道测量，空气动力学设计、土压等设计。