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分子真空泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子。使之压缩、排气的一种真空泵。有如下3中形式。1)牵引分子泵,高速旋转的转子表面与气体分子相碰,把动量传给气体分子,将气体分子拖动到真空泵的出口排出。因此,他是一种动力传输泵。2)涡轮分子真空泵,真空泵内装有多级带槽的圆盘或叶片的转子,在定子圆盘间旋转,转子的元周线速度很高,通常在分子流状态下工作。3)复合式分子真空泵,它是由涡轮分子真空泵和牵引分子真空泵优化组合,串联起来工作的一种佛山真空泵,可在分子流或过度流状态下工作。
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